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    原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

    簡要描述:原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵
    螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

    • 產(chǎn)品型號:LR421-T
    • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    • 更新時間:2024-08-10
    • 訪  問  量:286
    詳情介紹

    原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

    原廠ULVAC愛發(fā)科 LR300通用多級羅茨型干泵

    特點

    通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理,進(jìn)行腐蝕。

    采用ULVAC 設(shè)計的底座軸,實現(xiàn)高性能的排粉。

    從大氣壓到極限壓力,可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。

    目的

    半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。

    真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng),如燒結(jié)爐、滲碳爐等。

    鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng),如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。

    醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng),如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。

    螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上,提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計

    規(guī)格

    型號LR60LR90LR180LR421LR421-T
    最大
    排氣速度
    50Hz62 m3/h
    (1030 L/min)
    112 m3/h
    (1860 L/min)
    183 m3/h
    (3100 L/min)
    440 m3/h
    (7333 L/min)
    440 m3/h
    (7333 L/min)
    60Hz80 m3/h
    (1333 L/min)
    126 m3/h
    (2100 L/min)
    237 m3/h
    (3950 L/min)
    到達(dá)壓力5.0 Pa
    最大排氣壓力 (吸入圧力) 大氣壓
    最大排氣口壓力
    (排出圧力)
    1~ 大氣壓 Pa
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG50(KF50)VG80(KF50)VG100
    排氣口KF40VG50
    質(zhì)量180 kg245 kg335 kg415 kg
    電源 *1三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/
    380~440 VAC(50/60 Hz)
    電流值穩(wěn)定時6.9 A
    (at 200V)
    11.2 A
    (at 200V)
    18.9 A
    (at 200V)
    20.8 A
    (at 200V)
    最大值7.3 A
    (at 200V)
    11.8 A
    (at 200V)
    20.6 A
    (at 200V)
    48.5 A
    (at 200V)
    冷卻水一次壓力0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水出入口壓差>0.1 MPa>0.2 MPa
    冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
    吹掃氣一次壓力0.1~0.5 MPa
    二次壓力0.05~0.1 MPa
    氮氣吹掃5 SLM
    氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有0~45 SLM

    *1 請訂購時 



    型號LR300LR600LR1200LR1800LR3601LR3601-T
    (TT)
    LR3601-RLR3601-TR
    (TTR)
    使用泵干式
    真空泵
    LR60LR90LR90LR180LR421LR421-TLR421LR421-T
    機械
    增壓泵
    PRC-03APRC-06APRC-012APRC-018APRC-036CPRC-036C
    (-T)
    PRC-036DPRC-036D
    (D-T)
    最大
    排氣
    速度
    50Hz359 m3/h
    (5,980
    L/min)
    653 m3/h
    (10,900
    L/min)
    1,012 m3/h
    (16,900
    L/min)
    1,701 m3/h
    (28,350
    L/min)
    3,200 m3/h(53,333 L/min)
    60Hz365 m3/h
    (6,080
    L/min)
    701 m3/h
    (11,700
    L/min)
    1,051 m3/h
    (17,500
    L/min)
    1,784 m3/h
    (29,700
    L/min)
    到達(dá)壓力0.67 Pa
    最大排氣壓力
    (吸入圧力)
    大氣壓
    最大排氣口壓力
    (排出圧力)
    1~ 大氣壓 Pa
    吸氣口 (CE規(guī)格)VG80
    (KF80)
    VG100
    (KF100)
    VG150
    (KF100)
    VG150
    排氣口KF40KF50
    MBP表面處理〇 *1〇 *1〇 *1〇 *1×T:×
    TT:×
    ×TR:×
    TTR:〇
    質(zhì)量275 kg370 kg420 kg545 kg660 kg720 kg660 kg720 kg
    電源
    *2
    三相200 VAC(50/60 Hz), 220 VAC(60 Hz)180~240 VAC/380~440 VAC(50/60 Hz)
    電流值穩(wěn)定時7.0 A
    (at 200V)
    12.3 A
    (at 200V)
    13.7 A
    (at 200V)
    21.4 A
    (at 200V)
    31.0 A(at 200V)
    20.5 A(at 400V)
    35.4 A(at 200V)
    20.5 A(at 400V)
    最大值9.6 A
    (at 200V)
    19.0 A
    (at 200V)
    24.2 A
    (at 200V)
    39.8 A
    (at 200V)
    58.4 A(at 200V)
    40.5 A(at 400V)
    82.0 A(at 200V)
    40.5 A(at 400V)
    冷卻水
    一次壓力
    0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水
    出入口壓差
    >0.1 MPa0.1~0.3 MPa0.2~0.5 MPa
    冷卻水流量>5.0 L/min>4.0 L/min
    吹掃氣一次
    壓力
    0.1~0.5 MPa
    二次
    壓力
    0.05~0.1 MPa
    N2
    吹掃
    5 SLM
    氣鎮(zhèn)0~45 SLM沒有 *30~45 SLM沒有 *30~45 SLM

    *1 LR300、LR600、LR1200、LR1800可選是否進(jìn)行MBP表面處理。
    *2 請訂購時
     
    *3 根據(jù)用途,使用氣鎮(zhèn)的規(guī)格也可報價。


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